Συνοπτικός διαγωνισμός για το έργο: «Προμήθεια αναβάθμιση συστήματος εναπόθεσης ατομικών στρωμάτων (ALD) με δυνατότητα εναπόθεσης με χρήση οξείδωσης όζοντος» με κριτήριο ανάθεσης τη συμφερότερη προσφορά με βάση τη βέλτιστη σχέση ποιότητας και τιμής. Συνολ